T/CZSBDTHYXH 001-2023 半导体晶圆缺陷自动光学检测设备

半导体晶圆缺陷自动光学检测设备 (T/CZSBDTHYXH 001-2023) 团体名称为常州市半导体行业协会

主要起草人：刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰

起草单位：江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院

内容简要 本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。