硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 (YS/T 1164-2016) 主管部门为工业和信息化部。
YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
标准号
YS/T 1164-2016
下载格式
PDF
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
标准类别
行业标准
硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 (YS/T 1164-2016) 主管部门为工业和信息化部。
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