集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液 (SJ/T 11507-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：戈士勇、何珂、王周霞 等
SJ/T 11507-2015 集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液
标准号
SJ/T 11507-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
标准类别
行业标准
集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液 (SJ/T 11507-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：戈士勇、何珂、王周霞 等
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