等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管 (JC/T 2243-2014) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司等
起草人：张葆青、白凤茹 等
JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准号
JC/T 2243-2014
下载格式
PDF
发布日期
2014-10-14
实施日期
2015-04-01
标准类别
行业标准
等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管 (JC/T 2243-2014) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司等
起草人：张葆青、白凤茹 等
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