电子气体 羰基硫 (GB/T 43773-2024) 国家标准《电子气体 羰基硫》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
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该标准规定了羰基硫的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于一氧化碳与硫为原料合成制备的电子用羰基硫。