表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准 (GB/T 42659-2023) 国家标准《表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学。
起草人：李伟 、蔡潇雨 、李适 、杨树明 、程碧瑶 、魏佳斯 、高思田 。
此标准描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。