产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性 (GB/T 33523.603-2022) 国家标准《产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性》由TC240（全国产品几何技术规范标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：清华大学、山东大学、深圳市中图仪器股份有限公司、哈尔滨工业大学、中机生产力促进中心有限公司、中国计量科学研究院、广州计量检测技术研究院、中机研标准技术研究院（北京）有限公司。
起草人：尉昊赟 、闫鹏 、马俊杰 、刘俭 、施玉书 、代鲲鹏 、朱悦 。
此标准规定了相移干涉法（PS）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。