微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法 (GB/T 20726-2015) 国家标准《微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:中国科学院地质与地球物理研究所。
起草人:曾荣树 、徐文东 、毛骞 、马玉光 。
此标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪(EDS)特性最重要的性能参数。此标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。此标准规定了与扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程,在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范,不在此标准范围之内。