太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法 (GB/T 30869-2014) 国家标准《太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、有研半导体材料股份有限公司、乐山新天源太阳能科技有限公司、青洋电子材料有限公司。
起草人：何紫军 、冯地直 、程宇 、黎阳 、陈琳 、荆旭华 、刘卓 。
此标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。此标准适用于符合GB／T 26071、GB／T 29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量，分立式测量方法适用于接触式及非接触式测量，扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许的情况下，此标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。