硅片抗弯强度测试方法 (GB/T 15615-1995) 国家标准《硅片抗弯强度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中南工业大学。
GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法
标准号
GB/T 15615-1995
下载格式
PDF
发布日期
1995-07-12
实施日期
1996-02-01
标准类别
国家标准
硅片抗弯强度测试方法 (GB/T 15615-1995) 国家标准《硅片抗弯强度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中南工业大学。
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